激光沉積鍍膜設備
脈沖激光沉積(Pulsed Laser Deposition,PLD),也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsed laser ablation,PLA),是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。
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隨著現代科學和技術的發展,薄膜科學已成為近年來迅速發展的學科領域之一,是凝聚態物理學和材料科學的一個重要研究領域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不僅具有豐富的物理內涵,而且在微電子、光電子、超導材料等領域具有十分廣泛的應用。
長期以來,人們發明了多種制膜技術和方法:真空蒸發沉積、離子束濺射、磁控濺射沉積、分子束外延、金屬有機化學氣相沉積、溶膠- 凝膠法等。上述方法各有特點,并在一些領域得到應用。但由于其各有局限性,仍然不能滿足薄膜研究的發展及多種薄膜制備的需要。隨著激光技術和設備的發展,特別是高功率脈沖激光技術的發展,脈沖激光沉積(PLD)技術的特點逐漸被人們認識和接受 。